第一次世界大戰后，美國的陀螺儀制造工業最先提出了環境凈化問題，為試圖在生產中消除空氣中重粉末對航空儀表小軸承與齒輪的污染，建造了最原始潔凈廠房。 

      第二次世界大戰與第一次世界大戰相隔二十年，軍事科學技術突飛猛進，美國安頓涅鈥導彈公司曾經發現，對普通車間內裝配慣性制導用陀螺儀平均第10個產品就要返工120次，控制空氣污染后，返工率降低至2次，轉速為12000rpm的陀螺儀軸承內，無塵與有1000顆(∮3um)相比，使用壽命竟相差100倍。原子彈、計算機、晶體管等制造，對空氣污染控制提出了更高的要求。 

      第二次世界大戰后，美國制定了寵大的火箭發展計劃，經過科學家反復摸索，高效過濾器誕生了，取得了空氣凈化技術的首次飛躍。上個世紀五六十年代，英國、日本、蘇聯和中國先后建造了潔凈廠房，并編制了潔凈廠房設計建造規范，對空氣凈化、建筑材料、裝修材料、人對廠房的污染提出了嚴格的要求。潔凈廠房的設計、建造經過了一個世紀的發展，已經廣泛應用機械、儀表、電子、航天、光學、制藥、化學、食品工業和醫療、實驗室，從100級到100000級潔凈廠房。